氧化鋅（ZnO）和氧化鋁（Al2O3）異質結構薄膜厚度的測量

　　氧化鋅(ZnO)異質結構常用于LED應用中，以提高透光性。

　　MProbe UVVisSR用來測量氧化鋅(ZnO)薄膜的厚度及光學常數，異質結構為重復60次的

　　氧化鋅/三氧化二鋁膜層(ZnO/Al2O3 x 60)。

　　為了測量ZnO和Al2O3的光學常數，我們測量了多個ZnO單層薄膜，Al2O3單層薄膜和ZnO/Al2O3異質結構薄膜。通常情況下，100nm以下厚度的薄膜無法測量光學常數，所以需要先測量200nm以上厚度的ZnO單層薄膜、Al2O3單層薄膜，得到ZnO和Al2O3的光學常數，才能測量非常薄的ZnO和Al2O3薄膜樣品。

圖1. 相對較厚的氧化鋅(ZnO)薄膜測量，測量得到的反射光譜曲線與模型曲線擬合度很好，厚度為342nm，光學常數也被測量得到(圖2)

圖2. 氧化鋅(ZnO)的光學色散，色散模型使用CP Exciton模型

圖3. 非常薄的氧化鋅(ZnO)薄膜厚度測量，使用圖2測量到的光學常數，測量厚度：12nm，曲線擬合中的有部分不匹配，表明相對較薄的氧化鋅(ZnO)薄膜和較厚的氧化鋅(ZnO)薄膜的光學常數有所不同，這有可能是由于非晶化引起的

圖4. 相對較厚的三氧化二鋁(Al2O3)薄膜厚度測量，測量得到的反射光譜曲線與模型曲線擬合度很好，測量得到的厚度為269nm，光學常數曲線見圖5

圖5. Al2O3的光學常數曲線，色散模型使用Cauchy近似模型

圖6. 較薄的Al2O3薄膜測量，光學常數使用圖5測量得到的數據，曲線擬合度很好，厚度測量結果：7.7nm

圖7. 測量多層ZnO/Al2O3異質結構薄膜厚度，

結果為：(2.0nm ZnO/2.1nm Al2O3)x60/Si。ZnO/Al2O3薄膜的測量是基于所有重復膜層是一樣的，包括厚度和光學常數。

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