PET觸摸屏ITO薄膜厚度的測量

使用MProbe Vis薄膜測厚儀測量觸摸屏樣品，PET上覆蓋ITO薄膜層，PET下面有硬涂層聚合物(聚酰亞胺)，下面是測量結果：

以下是光譜數據分析：

圖1. 五個測量點的反射光譜曲線

ITO材料的色散模型使用classical oscillator 近似模型，光學常數在數據分析時會有所修正。硬涂層聚酰亞胺的色散模型使用Cauchy近似模型，厚度和折射率同時被測量，其光學常數是基于PET和聚酰亞胺界面，兩種材料的折射率相差很小，這會引起小振幅的干涉條紋。

測量分為兩步：

 第一步，硬涂層被忽略，只分析ITO層，ITO薄膜的厚度和光學常數同時測量。

圖2. 測量得到的反射光譜曲線與模型曲線進行擬合，測量得到的反射率光譜曲線呈現波紋狀，這是硬涂層引起的。

第二步，硬涂層加到膜層結構上，硬涂層的厚度、光學常數和ITO層的厚度同時測量，至此，模型結構已經建立，所有測量用這個模型。

圖3. 測量得到的反射光譜曲線與模型曲線相擬合，ITO層和硬涂層的厚度都被測量，模型曲線也呈現出波紋狀，與圖2相比，擬合度更好。

圖4. 硬涂層的折射率測量。